熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)誕生在美國(guó)的西海岸，剛開始是兩個(gè)公司，后來(lái)分裂成三個(gè)獨(dú)立的公司。其中一個(gè)公司生產(chǎn)流體元件，通過(guò)石油補(bǔ)丁中發(fā)明熱式氣體流量開關(guān)交換機(jī)檢測(cè)油的油井管的運(yùn)動(dòng)，但直到1981年，他們實(shí)際上也沒(méi)有演變成實(shí)際的流量計(jì)。

　　1968年至20世紀(jì)70年代初，在奧林和庫(kù)爾茲做研究使用風(fēng)速計(jì)時(shí)，他們更感興趣的是開發(fā)測(cè)量產(chǎn)品適用于工業(yè)環(huán)境。這將需要更堅(jiān)固耐用的設(shè)備比一個(gè)風(fēng)速計(jì)。在TSI，他們開發(fā)的研究應(yīng)用在氣體動(dòng)力學(xué)，湍流和空氣流動(dòng)的和熱膜風(fēng)速計(jì)。這些工具是基于熱擴(kuò)散技術(shù)和傳感器組成的加熱鎢絲或鉑薄膜沉積在石英棒。這些傳感器的直徑小了流體力學(xué)研究需要的快速響應(yīng)時(shí)間，但在一般工業(yè)應(yīng)用，他們還是太脆弱。于是他們建議TSI開發(fā)工業(yè)產(chǎn)品，，但TSI是不感興趣。因此，奧林和庫(kù)爾茲決定開辦自己的公司，于1973年在明尼蘇達(dá)州納入Sierra公司。1975年，他們搬到加州的公司，包裝業(yè)務(wù)分為兩卡車，駕駛它橫跨大陸分水嶺在蒙特利設(shè)立店鋪。

　　1977年杰里·庫(kù)爾茲決定成為獨(dú)立的公司，并形成庫(kù)爾茲儀器。塞拉利昂保持空氣采樣產(chǎn)品，庫(kù)爾茲儀器保持熱流量計(jì)。然而，塞拉利昂流量計(jì)在1983年回歸市場(chǎng)。

　　在20世紀(jì)80年代初，塞拉利昂，庫(kù)爾茲和流體元件是制造熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的公司。然而，隨著時(shí)間的推移，更多的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)制造商開始誕生。這些包括的埃爾德里奇，福克斯熱儀器，賢者測(cè)光公司。這些公司主要是塞拉利昂和庫(kù)爾茲的分支。終，一些較大的流量計(jì)企業(yè)進(jìn)入市場(chǎng)，其中包括恩德斯豪斯和ABB、液位和流量開關(guān)制造商Magnetrol公司，也進(jìn)入了熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)市場(chǎng)。

　　在20世紀(jì)60年代，美國(guó)首先為宇航業(yè)所需質(zhì)量控制開發(fā)出熱式氣體流量計(jì)的正式產(chǎn)品，氣候應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的設(shè)備制造上，得到了很大的發(fā)展，隨后又?jǐn)U展到其他的工業(yè)領(lǐng)域，近年來(lái)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)日趨成熟其應(yīng)用面不斷擴(kuò)展。世界工業(yè)比較發(fā)達(dá)的國(guó)家已有眾多制造企業(yè)所生產(chǎn)的產(chǎn)品投放市場(chǎng)，20世紀(jì)90年代初中期，世界范圍的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)銷售額已占流量?jī)x表行業(yè)的3%-7%，年銷售1.74-4.6萬(wàn)臺(tái)。